李军东
大庆油田有限责任公司测试技术服务分公司 黑龙江省大庆市 163453
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摘要：为满足等离子质谱仪（ICP-MS）开发、应用条件，需要建立洁净技术实验室。本文从洁净技术概念谈起，结合等离子质谱仪（ICP-MS）安装使用的前提条件引入洁净实验室的建设指标、主要技术参数(洁净度、正压)以及解决方法等。说明了洁净室建设的过程及需要注意的问题，达到与同行互相交流学习的愿望。
关键词：洁净技术；洁净度；洁净室
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综述与评论
中国石油和化工自动化应用协会官方网站www.cnpci.org.cn 发布时间： 来源：中国石油和化工自动化应用协会
等离子质谱仪洁净实验室的建设
摘要：为满足等离子质谱仪（ICP-MS）开发、应用条件，需要建立洁净技术实验室。本文从洁净技术概念谈起，结合等离子质谱仪（ICP-MS）安装使用的前提条件引入洁净实验室的建设指标、主要技术参数(洁净度、正压)以及解决方法等。说明了洁净室建设的过程及需要注意的问题，达到与同行互相交流学习的愿望。
关键词：洁净技术；洁净度；洁净室
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